임베디드 시스템
정밀 계측 제어 모듈
- Temperature
- Heating / Cooling
- Pressure / Flow
- Vacuum / Booster
- Valve Control
- Motor Control
- Power, Voltage, Current
데이터 송수신, 컨버터
- ADC / DAC
- Ethernet TCP / IP
- EtherCAT
- CAN
- RS232 / RS422 / RS485
- Modbus RTU / ASCII / TCP
Wafer 온도 측정 시스템
- On wafer sensor
- Wireless
- DAQ
- Monitoring Software